삼성전�, ASML 차세대 High NA EUV 노광장비 구매 계약 체결

삼성전�가 네�란드 ASML으로부터 내년� 출시� 예정� 하� 뉴메리컬어�처(High NA) EUV 노광장비 구매 계약� 체결했다고 해외 매체 샘모바�� 30�(현지시간) 보�했다.

High NA EUV 장비는 기존 EUV 장비 대비 빛� 나오는 렌즈 구경� 확대해 � 세밀한 회로 작업� 가능하게 한 것� 특징�다. 대당 가격� 기존 장비보다 � 배 높� 5000억�� 넘는 것으로 알려졌다.

삼성 �만 아니� �텔과 TSMC 역시 차세대 EUV 장비 공급 계약� 체결한 �태다. ASML� 올해 High NA EUV 노광 장비를 장비를 50대만 �산할 수 있으며 납기 리드 타임� 1~1년 6개월 정�로 예��다.

삼성전ìž�ê°€ high-NA EUV 노광 장비를 ë°˜ë�„ì²´ 공정ì—� 실제로 ì �용하는 시기는 ì•„ì§� 알려지지 않았지만 납기 기한ì�„ ê°�안하면 2024년부터 high NA EUV 노광 장비를 본격ì �으로 사용할 것으로 예ìƒ�ë�œë‹¤ê³  매체는 전했다.